Halbleiterfertigung

  • Gleichzeitige Überwachung mehrerer Fluorkohlenwasserstoffe (FKW) und anderer Emissionskomponenten
  • Hohe Empfindlichkeit und Genauigkeit
  • Zur Emissionsüberwachung und für die Bestimmung der Gaswäscher-Effizienz

 

Halbleiterfertigung

Die Halbleiterindustrie nutzt verschiedene Fluorkohlenwasserstoffe (FKW). Deren Emission aus dem Prozess in die Umgebungsluft wird durch Abgaswäsche verringert.

Bei diesem Verfahren können die Gasmet™ FTIR-Gasanalysatoren verwendet werden, um sowohl die Emission in die Atmosphäre zu überwachen als auch die Effizienz der Gaswäscher zu messen. Zu den typischerweise im Abgas enthalten FKW gehören Tetrafluormethan (CF4), Trifluormethan (CHF3) und Hexafluorethan (C2F6).

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